特許

J-GLOBAL ID：200903097734850925

変位検出装置

発明者： 乳井 勝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183486
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014999
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】 光分割手段として回折格子を使用することにより光反射面に起因する誤差要因を取り除き、低コストで、安定して高精度の得られる、省空間化を図ることができる変位検出装置を得ること。【構成】 可干渉性の光束を偏光光分割手段で複数の光束に分割し、該複数の光束を変位物体と共に変位する回折格子に入射させ、該回折格子からの特定次数の回折光を該偏光光分割手段を介して重ね合わせて直線偏光光束に合成し、該直線偏光光束を1次元の回折格子により少なくとも2つの光束に分割し、夫々の光束を偏光方位が互いに異なる偏光素子を介して光検出手段で検出して、該光検出手段で得られる該直線偏光光束の偏光方位の回転より該変位物体の変位情報を求めている。

請求項（抜粋）：

可干渉性の光束を偏光光分割手段で複数の光束に分割し、該複数の光束を変位物体と共に変位する回折格子に入射させ、該回折格子からの特定次数の回折光を該偏光光分割手段を介して重ね合わせて直線偏光光束に合成し、該直線偏光光束を1次元の回折格子により少なくとも2つの光束に分割し、夫々の光束を偏光方位が互いに異なる偏光素子を介して光検出手段で検出して、該光検出手段で得られる該直線偏光光束の偏光方位の回転より該変位物体の変位情報を求めていることを特徴とする変位検出装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-257215
  
• 特開平2-176420
  
• 特開平3-279812
  
• 特開平4-259817