特許

J-GLOBAL ID：200903097741795190

光ディスク用ガラス原盤の製造方法

発明者： 浅沼 豊人
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178086
公開番号（公開出願番号）：特開2001-014742
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 1枚のガラス原盤より、反り、ディフェクトの少ない複数のマスタースタンパを得られる光ディスク用ガラス原盤の製造方法を提供する。【解決手段】 電気信号に対応するピット及び又は溝の形成されている光ディスク用ガラス原盤の製造方法において、 石英ガラスにフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜の前記ピット及び又は溝に対応する部分を除去し、このフォトレジスト膜をマスクとして、混合比2:1であるCF4ガス又はCHF3ガスと水素ガスの混合ガスの雰囲気で高周波出力によりエッチングすることにより、石英ガラスに前記ピット及び又は溝を形成した。

請求項（抜粋）：

電気信号に対応するピット及び又は溝の形成されている光ディスク用ガラス原盤の製造方法において、石英ガラスにフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜の前記ピット及び又は溝に対応する部分を除去し、このフォトレジスト膜をマスクとして、混合比2:1であるCF4ガス又はCHF3ガスと水素ガスの混合ガスの雰囲気で高周波出力によりエッチングすることにより、石英ガラスに前記ピット及び又は溝を形成したことを特徴とする光ディスク用ガラス原盤の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 ,  C03C 15/00

FI (2件)：

G11B 7/26 501 ,  C03C 15/00 D

Fターム (8件)：

4G059AA08 ,  4G059AB06 ,  4G059AB07 ,  4G059AC01 ,  4G059BB13 ,  5D121BB08 ,  5D121BB33 ,  5D121GG04