特許
J-GLOBAL ID:200903097764433962

感光性樹脂組成物、感光性シート及び金属配線基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-331481
公開番号(公開出願番号):特開平10-161309
出願日: 1996年11月26日
公開日(公表日): 1998年06月19日
要約:
【要約】【課題】 金属層付き基板の金属層に対する接着性が優れた、特に光硬化後現像時における接着性が優れた、感光性樹脂層を与えることができる感光性樹脂組成物、感光性シート及び感光性シートを用いた金属配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 バインダーポリマー、光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマー及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物であって、バインダーポリマーが、14〜30重量部のメタクリル酸、20〜70重量部のメチルメタクリレート、3〜30重量部のエチルアクリレート及び3〜30重量部のベンジル(メタ)アクリレートを共重合して得られ、かつ50〜120°Cのガラス転移温度及び3万〜20万の重量平均分子量を有する共重合体である感光性樹脂組成物;透明支持体上に該感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層が設けられた感光性シート;及び該感光性シートを用いた金属配線基板の製造方法。
請求項(抜粋):
バインダーポリマー、光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマー及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物であって、該バインダーポリマーが、14〜30重量部のメタクリル酸、20〜70重量部のメチルメタクリレート、3〜30重量部のエチルアクリレート及び3〜30重量部のベンジル(メタ)アクリレートを共重合して得られ、かつ50〜120°Cのガラス転移温度及び3万〜20万の重量平均分子量を有する共重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06
FI (4件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 J

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