薬液脱気方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132580
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317211
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】フッ素系ノニオン性界面活性剤を含む薬液中の溶存気体を除去する際に、薬液の組成を変化させることなく高効率の脱気を行うことのできる薬液脱気方法を提供すること。【解決手段】フッ素系ノニオン性界面活性剤を含む薬液を、気体透過性膜3を用いて脱気する。気体透過性膜3の少なくとも接液部を、ポリエチレン、ポリプロピレン、またはポリ(4-メチルペンテン-1)などのポリオレフィンからなるものとする。

請求項（抜粋）：

気体透過性膜を用いて薬液中の溶存気体を除去する薬液脱気方法において、前記薬液がフッ素系ノニオン性界面活性剤を含み、前記気体透過性膜の少なくとも接液部がポリオレフィンからなることを特徴とする薬液脱気方法。

IPC (5件)：

B01D 19/00 101 , B01D 53/22 , G03F 7/16 , G03F 7/32 , G03F 7/38 501

FI (5件)：

B01D 19/00 101 , B01D 53/22 , G03F 7/16 , G03F 7/32 , G03F 7/38 501

Fターム (17件)：

2H025AA00 , 2H025AB16 , 2H025EA03 , 2H025FA15 , 2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096BA20 , 2H096CA20 , 2H096GA02 , 2H096GA05 , 2H096GA11 , 2H096GA60 , 4D006GA32 , 4D006MC22 , 4D006MC23 , 4D006PC01 , 4D011AA16

前のページに戻る