特許

J-GLOBAL ID：200903097767953711

コンディショニングディスク

発明者： 鈴木 賢二 ,  古賀 雷二郎
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121402
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】 ウェハーの被研磨面におけるマイクロスクラッチの発生を低減可能なコンディショニングディスクを開発する。【解決手段】 水平回転させた研磨パッドの表面に接触させられるコンディショニングディスク1であって、中央孔6を有するリング板状の台金7の一面にダイヤモンド粒子2を電着してなるドレッシングプレート3と、該ドレッシングプレート3に重ね合わせて装着され、前記中央孔6を貫通させられる複数本のブラシ毛4が植え込まれたブラシプレート5とを具備するコンディショニングディスクを提供する。

請求項（抜粋）：

水平回転させた研磨パッドの表面に接触させられるコンディショニングディスクであって、中央孔を有するリング板状の台金の一面にダイヤモンド粒子を電着してなるドレッシングプレートと、該ドレッシングプレートに重ね合わせて装着され、前記中央孔を貫通させられる複数本のブラシ毛が植え込まれたブラシプレートとを具備することを特徴とするコンディショニングディスク。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 7/00

FI (5件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/00 310 Z ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 7/00 Z

Fターム (14件)：

3C047EE18 ,  3C047FF08 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17 ,  3C063AA10 ,  3C063AB05 ,  3C063BB02 ,  3C063BG01 ,  3C063BG07 ,  3C063BH09 ,  3C063EE26 ,  3C063FF20