特許
J-GLOBAL ID：200903097770378507
レーザ非接触伸び計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130176
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327335
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 試験体がイメージセンサに接近・離反する方向に変位したり傾斜しても、その影響を受けることなく、常に正確な伸び(伸縮量)を測定することのできるレーザ非接触伸び計を提供する。【構成】 前後方向変位測定手段61a〜64a,64b〜64bにより、試験体Wのx方向への変位Dx1 ,Dx2 を非接触で測定し、これらを用いて移動量算出手段4a,4bによるスペックルパターンの移動量に基づく試験体Wの標点A1,A2の移動量算出結果Dz1 ,Dz2 を補正演算手段7a,7bで補正し、補正後の移動量Dz1 ′,Dz2 ′を用いて伸縮量算出手段5で標点間の伸縮量を算出することで、試験体Wのx方向への変位や傾斜の影響を除去する。
請求項（抜粋）：
試験体表面にレーザ光を照射する照射光学系と、そのレーザ光の試験体表面による散乱光を結像光学系を介して受光して、その散乱光に含まれるスペックルパターンを検出する複数チャンネルの光検出手段と、その光検出手段の出力を用いて、試験体表面で互いに所定の距離を隔てた2箇所におけるスペックルパターンの刻々の移動量を個別に算出する移動量算出手段と、その算出された各移動量から試験体の上記2箇所間の伸縮量を算出する伸縮量算出手段を備えた伸び計において、上記光検出手段に対して接近・離反する方向への試験体の変位を非接触で測定する前後方向変位測定手段と、その変位測定結果に基づいて、上記移動量算出手段による各スペックルパターンの移動量をそれぞれ補正する補正演算手段を有し、上記伸縮量算出手段は、その補正後の各移動量を用いて試験体の伸縮量を算出することを特徴とするレーザ非接触伸び計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/16 Z
, G06F 15/62 380
