特許

J-GLOBAL ID：200903097774524702

ICデバイスの移載装置

発明者： 久保田 俊弘
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337668
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162598
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 それぞれデバイス収容部のピッチ間隔が異なる受渡側トレーから受取側トレーに4個のデバイスを同時に移載できるようにする。【解決手段】 受渡側トレー1のデバイス収容部1aの左右及び前後のピッチ間隔は、受取側トレー2のデバイス収容部2aの左右及び前後のピッチ間隔より狭くなっており、デバイスDを両トレー1,2間で移載する移載手段3は、4個の真空吸着手段5をそれぞれ支持ブロックに装着したものである。第1の支持ブロック6S は所定の基準位置に固定的に保持され、この第1の支持ブロック6S に隣接する位置に、X方向に往復移動可能な第2の支持ブロック6X と、これと直交するY方向に往復移動可能な第3の支持ブロック6Y とが設けられ、さらに第1の支持ブロック6S の対角線方向に往復移動可能な第4の支持ブロック6XYを備えている。

請求項（抜粋）：

所定のピッチ間隔で多数のICデバイスの収容部を設けた受渡側トレーと、この受渡側トレーとは異なるピッチ間隔で多数のICデバイスの収容部を設けた受取側トレーとの間にICデバイスを移載するための装置において、ICデバイスを吸着する4個の真空吸着ヘッドのそれぞれを縦横に並べて設けた支持ブロックに装着し、第1の支持ブロックを固定的に保持し、第2の支持ブロック及び第3の支持ブロックはそれぞれ直交する方向において、第1の支持ブロックに対してそれぞれ直交する方向に往復移動可能となし、また第4の支持ブロックは、第2,第3の支持ブロックの少なくとも一方の移動に連動して、第1の支持ブロックに対して対角線の方向に往復移動するように構成したことを特徴とするICデバイスの移載装置。

IPC (2件)：

H05K 13/02 ,  B23P 19/00 301

FI (2件)：

H05K 13/02 L ,  B23P 19/00 301 L