特許

J-GLOBAL ID：200903097775201451

固体潤滑膜付き部材

発明者： 北川 直明 ,  塚田 由貴
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038007
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239829
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】 安価な固体潤滑膜を用いても、固体潤滑膜と部材との密着力が低下せず、長期間にわたって低摩擦係数が得られ、しかも高い耐摩耗性が保持できる固体潤滑膜付き部材を提供する。【解決手段】 膜面が結晶面(200)に配向したCrN膜を第1層に、固体潤滑膜を第2層に備えた固体潤滑膜付き部材。第1層のCrN膜は、窒素ガス圧を20〜50mTorr、バイアス電圧を0Vとするカソードアークイオンプレーティング法によって形成される。第2層の固体潤滑膜は、イオンプレーティング法、スパッタリング法か、ショットピーニング法によって形成された、MoS2膜、WS2膜、NbS2膜、雲母膜、Sb2O3膜、BN膜、WSe膜、MoSe2膜、Au膜、または、Ag膜である。

請求項（抜粋）：

膜面が結晶面(200)に配向したCrN膜を第1層に、固体潤滑膜を第2層に備えた固体潤滑膜付き部材。

IPC (6件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 24/04 ,  F16C 33/10 ,  F16C 33/12 ,  F16C 33/66

FI (7件)：

C23C 14/06 N ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/32 Z ,  C23C 24/04 ,  F16C 33/10 D ,  F16C 33/12 Z ,  F16C 33/66 A

Fターム (43件)：

3J011JA02 ,  3J011LA04 ,  3J011MA02 ,  3J011PA10 ,  3J011QA04 ,  3J011RA10 ,  3J011SE04 ,  3J011SE06 ,  3J011SE07 ,  3J101DA05 ,  3J101EA02 ,  3J101EA53 ,  3J101EA55 ,  3J101EA78 ,  3J101FA32 ,  4K029AA02 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA21 ,  4K029BA43 ,  4K029BA51 ,  4K029BA58 ,  4K029BA59 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA13 ,  4K029DC05 ,  4K029DC12 ,  4K029DC39 ,  4K029DD06 ,  4K029FA04 ,  4K044AA02 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB03 ,  4K044BC01 ,  4K044CA13 ,  4K044CA23