特許

J-GLOBAL ID：200903097782788050

TABテープの乾燥装置およびそのためのリール架台

発明者： 西 原 真 ,  井 上 卓 也
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250247
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077157
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 TABテープの製造において、エッチング工程、ソルダーレジスト塗布工程、メッキ処理工程などの種々の工程において、液処理の後に、リールにスペーサ部材を介装して巻き取られたTABテープを均一に乾燥することの可能な乾燥装置を提供する。【解決手段】 リールに巻かれた被乾燥体であるTABテープを収納する乾燥室と、乾燥室内の空気を加熱する加熱手段と、加熱手段により加熱された加熱空気を乾燥室内で一方向に循環させる循環装置と、リールに巻かれたTABテープを、循環装置により循環される加熱空気の循環方向に対して、リールの軸方向が平行になるように乾燥室内に配置するリール架台とを備え、リール架台には、リールを載置するリール載置部と、リール載置部に載置されたリールの部分に対応した開口部と、開口部以外の乾燥室部分を遮蔽する遮蔽壁部とを備えており、循環装置により循環される加熱空気が、このリールの部分と開口部を介してのみ循環することにより、リールに巻かれたTABテープを均一に加熱乾燥するように構成した。

請求項（抜粋）：

リールに巻かれた被乾燥体であるTABテープを収納する乾燥室と、前記乾燥室内の空気を加熱する加熱手段と、前記加熱手段により加熱された加熱空気を乾燥室内で一方向に循環させる循環装置と、前記リールに巻かれたTABテープを、前記循環装置により循環される加熱空気の循環方向に対して、リールの軸方向が平行になるように乾燥室内に配置するリール架台とを備え、前記リール架台には、リールを載置するリール載置部と、前記リール載置部に載置されたリールの部分に対応した開口部と、前記開口部以外の乾燥室部分を遮蔽する遮蔽壁部とを備えており、前記循環装置により循環される加熱空気が、このリールの部分と開口部を介してのみ循環することにより、リールに巻かれたTABテープを均一に加熱乾燥するように構成したことを特徴とするTABテープの乾燥装置。

IPC (4件)：

H01L 21/60 311 ,  F26B 13/10 ,  F26B 21/00 ,  F26B 3/353

FI (5件)：

H01L 21/60 311 W ,  F26B 13/10 J ,  F26B 13/10 G ,  F26B 21/00 A ,  F26B 3/353

Fターム (24件)：

3L113AA02 ,  3L113AB02 ,  3L113AC08 ,  3L113AC45 ,  3L113AC46 ,  3L113AC51 ,  3L113AC57 ,  3L113AC63 ,  3L113AC67 ,  3L113AC73 ,  3L113AC75 ,  3L113AC76 ,  3L113BA34 ,  3L113CA12 ,  3L113CB12 ,  3L113CB24 ,  3L113CB28 ,  3L113CB34 ,  3L113DA02 ,  3L113DA04 ,  3L113DA10 ,  3L113DA11 ,  3L113DA24 ,  5F044MM49