特許

J-GLOBAL ID：200903097800196891

ロードポート調整治具、FOUP測定治具、FOUPウェーハプレーン測定治具、キネマティックピン形状評価治具、キネマティックピン位置評価治具、およびこれらを用いる調整・測定・評価方法

発明者： 藤井 淳弘
出願人/特許権者： 株式会社半導体先端テクノロジーズ
代理人 (1件)： 高田 守 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-162788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189371
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造におけるロードポートのFIMS面で基板移載を円滑にし、FOUP開閉機構の開閉信頼性向上、およびインターフェイスドアの互換性ならびに開閉信頼性向上を図る。【解決手段】 前記FIMS面のレジストレーションピン位置を測定する位置測定機構、FOUPドアのレジストレーションピンホール位置を測定する位置測定機構、前記FIMS面から前記正面仮想基準面までの距離を測定する距離測定機構などを組み合わせて、ロードポート調整治具、FOUP測定治具などを得る。

請求項（抜粋）：

正面仮想基準面を有するFOUPを擬装したロードポート調整治具であって、基板処理装置のロードポートに載置されてFIMS面に当接され、前記FIMS面のレジストレーションピン位置を測定する位置測定機構と、前記FIMS面から前記正面仮想基準面までの距離を測定する距離測定機構とを備えたことを特徴とするロードポート調整治具。

Fターム (9件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031JA27 ,  5F031JA45 ,  5F031KA06 ,  5F031PA30