圧電性薄膜、その製造方法、圧電体素子およびインクジェットプリンタヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091207
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287468
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】高い圧電d定数を維持しうる圧電性薄膜、圧電体素子およびインクジェットプリンタヘッドを提供する。【解決手段】ニオブ(Nb)が添加された圧電性物質を含む第1層100に、圧電性物質を含む第2層200を積層して構成された圧電性薄膜である。ニオブの添加により、薄膜全体の特性が向上する。

請求項（抜粋）：

ニオブ(Nb)が添加された圧電性物質を含む第1層に、圧電性物質を含む第2層を積層して構成された圧電性薄膜。

IPC (7件)：

C04B 35/49 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/083 , H01L 41/187 , H01L 41/24

FI (7件)：

C04B 35/49 B , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , C04B 35/49 R , H01L 41/08 S , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 A

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