特許

J-GLOBAL ID：200903097804669980

ファイバと平面導波管との結合を備える物およびその物の製造方法

発明者： マーク アンソニー キャプゾー ,  エドワード ジョン ラスコウスキー ,  ロナルド エドワード スコッティ ,  ジョセフ シュムロヴィッチ
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229665
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133828
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ファイバを平面導波管に結合する装置、および同じ製造プロセス中に、1枚のマスクで導波管の芯とファイバのV字溝との両方を形成し、横方向に整列するこのような装置を製造する方法。【解決手段】 装置は、最初に従来の方法でシリコン・ウェーハ基板上またはその内部に下部クラッド層を形成し、次に2つの表面の差が最小になるよう芯ガラス層をその上に均一に付着させて製造する。芯ガラス層のパターン成形に、横方向に整列した導波管とV字溝との部分を有する1枚のマスクを使用し、導波管の芯を形成して、V字溝の位置を規定する。従来のエッチング技術を用いてV字溝を完全に形成する。上部クラッドを導波管の芯の上に形成し、結合する光ファイバによりよく対応するため、V字溝と導波管の芯との間を部分的にソー・カットする。

請求項（抜粋）：

光学装置を製造する方法で、基板(14)上の少なくとも一部に下部クラッド(16)を形成し、これによって前記下部クラッドが前記基板によって支持され、前記下部クラッドが前記基板に対して決定可能な縦方向の関係を有するステップと、少なくともその一部が前記下部クラッドに支持されるよう芯層(52)を形成するステップと、マスク(56)を使用して前記芯層の少なくとも一部をパターン成形し、これによって導波管の芯(18)を形成して、光ファイバ(26)を前記芯層と縦方向に整列するために前記芯と縦方向に整列した領域(70)を規定するステップと、前記基板の一部から前記縦方向整列領域を形成し、これによって、前記垂直整列領域によって前記光ファイバが整列した場合に前記光ファイバが前記導波管の芯と横方向および縦方向に整列するよう、前記垂直整列領域と前記基板との間に決定可能な縦方向の関係を確立するステップと、前記導波管の芯上に上部クラッド(20)を形成し、これによって導波管を形成するステップとを含む方法。