試料ホルダの固定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253335
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115871
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れると共に、試料ホルダの変形を招くことがなく、また、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げなくてすむようにした試料ホルダの固定装置を提供する。【構成】ステージ1の上面側に、試料ホルダ6の自重たわみを最小に押える3点を支持し得る位置に複数の静電チャック12を配設し、これら静電チャック12によりガラスマスクやウエハ等の試料Wを装填した導電性の試料ホルダ6を支承すると共に、静電チャック12による静電吸引力により試料ホルダ6を静電的に吸着固定するようにした。

請求項（抜粋）：

電子ビーム照射に供される試料を保持する試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置であって、前記ホルダと前記ステージとの相互対向面間に位置して設けられ、前記試料ホルダを前記ステージ上に静電力で吸着保持する静電吸着手段を具備してなることを特徴とする試料ホルダの固定装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G01N 1/00 101 , G03F 7/20 504 , G03F 9/00 , H01J 37/20

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