エネルギ分散スペクトル取得装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247076
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076664
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】投影レンズの倍率の変化に基づくエネルギ分散方向の回転を考慮したエネルギ分散方向を自動的に設定する。【解決手段】CPU7で制御されたエネルギフィルタ3のスペクトロメータにより、試料からの電子のエネルギの中から所望のエネルギが選択され、そのエネルギのスペクトルが形成される。また、一対の投影レンズ4,5がCPU7で制御されて所定の倍率に設定され、形成されたスペクトルがこの倍率で拡大投影されて画像記録媒体6に記録される。また、CPU7は、予め用意されたエネルギ分散方向に関するデータの中から、この倍率に対するデータを呼び出し、画像処理装置8に送給する。画像処理装置8は、送給されたデータに従ってエネルギ分散方向を自動的に設定し、かつ画像記録媒体6からのスペクトル画像において、設定したエネルギ分散方向に対する強度を積算して、エネルギ分散スペクトルを得る。

請求項（抜粋）：

試料からの電子の所望のエネルギを選択し結像するスペクトロメータを有するエネルギフィルタと、前記スペクトロメータからのスペクトルを拡大して投影する、磁界電子レンズからなる投影レンズと、この投影レンズから投影される拡大されたスペクトルをスペクトル画像として記録する画像記録媒体と、予め用意された所定の倍率に設定するために前記投影レンズを制御するレンズ情報および倍率に対するエネルギ分散方向に関する情報を記憶する記憶手段と、この記憶手段からのレンズ情報に基づいて所定の倍率となるように前記投影レンズを制御する制御装置と、この制御装置から前記記憶手段に記憶されている前記エネルギ分散方向に関する情報のうち、設定された倍率に対するエネルギ分散方向に関する情報を受け取るとともに受け取った情報に従ってエネルギ分散方向を設定し、前記画像記録媒体からのスペクトル画像におけるエネルギを、設定したエネルギ分散方向に対する強度に変換することによりエネルギ分散スペクトルを得る画像処理装置とを備えていることを特徴とするエネルギ分散スペクトル取得装置。

IPC (4件)：

H01J 37/26 , H01J 37/05 , H01J 37/22 501 , G01N 23/02

FI (4件)：

H01J 37/26 , H01J 37/05 , H01J 37/22 501 Z , G01N 23/02

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001BA12 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001EA05 , 2G001FA06 , 2G001FA25 , 2G001GA01 , 2G001HA13 , 2G001JA05 , 2G001JA20 , 5C033AA05 , 5C033SS03 , 5C033SS04 , 5C033SS08 , 5C033SS09

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