特許

J-GLOBAL ID：200903097812530819

照明装置、露光装置及び露光方法

発明者： 岩永 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-178438
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373839
出願日： 2001年06月13日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】 移動可能なステージ加減速中の露光においても、照射むらがなく、被照射面を高精度に走査照射することを可能にし、高スループットを実現する。【解決手段】 可動のステージ31,35が加減速している際にも露光を行う走査型露光装置に用いられ、照度分布を時間的に変化させるための光学部材として回転可能なくさび型プリズム21と該プリズム21を駆動するプリズム駆動部101とを含む照度分布可変手段が、前記照度分布の時間的変化をステージ31,35の駆動パターンに対応して変化させる機能を有するものであって、ステージ31,35の加減速パターンに対応した照度分布を測定し、この測定結果に基づき、くさび型プリズム21の駆動パターンを決定する。

請求項（抜粋）：

可動のステージが加減速している際にも露光を行う走査型露光装置用の照明装置において、前記露光の為の照明系の照度分布を時間的に変化させる照度分布可変手段を有し、該照度分布可変手段は前記照度分布の時間的変化を前記ステージの駆動パターンに対応して変化させる機能を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 518

Fターム (3件)：

5F046BA05 ,  5F046CC15 ,  5F046DA02