特許
J-GLOBAL ID：200903097815220667
走査型顕微鏡用金属探針の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275625
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128800
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 走査型顕微鏡用金属探針を、所望の形状および長さとなるように効率よく製造する。【構成】 金属からなる探針用素材の一端側を電解液中に浸して電解研磨することで前記素材の一端を尖鋭化する走査型顕微鏡用金属探針の製造方法において、前記素材1の他端1bと電解液2の液面2aとの距離を該距離が順次大きくなるように2段階以上設定して各段階で電解研磨を行う。そして、最終段階では前記電解液2中の素材1の一端が電解液2の液面2aに達するまで電解研磨を行うようにした。
請求項（抜粋）：
金属からなる探針用素材の一端側を電解液中に浸して電解研磨することで前記素材の一端を尖鋭化する走査型顕微鏡用金属探針の製造方法において、前記素材の他端と電解液の液面との距離を、該距離が順次大きくなるように2段階以上設定して各段階で電解研磨を行い、最終段階では前記電解液中の素材の一端が該電解液の液面に達するまで電解研磨を行うことを特徴とする走査型顕微鏡用金属探針の製造方法。
IPC (4件)：
C25F 3/16
, G01B 7/34
, H01J 9/14
, H01J 37/28
