特許
J-GLOBAL ID:200903097816862492

圧電振動子のパッケージ内支持構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 均
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-282499
公開番号(公開出願番号):特開平11-112269
出願日: 1997年09月30日
公開日(公表日): 1999年04月23日
要約:
【要約】【課題】 圧電振動子素板の一端部下面を片持ち状態で支持すると共に遊端状の他端下面に非接触状態で枕部材を対向配置した従来の圧電デバイスパッケージにおいて発生していた不具合である振動子素板中央部の支持強度不足、即ち外部からの衝撃、振動に起因した振動子素板中央部の破損や、振幅変位に起因した周波数のずれを有効に防止して、信頼性を高めることができる圧電振動子のパッケージ内支持構造を提供する。【解決手段】 圧電素板の表裏両面に励振電極を備えた圧電振動子の一端下面を、気密封止されたパッケージ内底面に突設した保持電極22の上面により片持ち状態で水平に支持した圧電振動子21の支持構造において、上記保持電極によって支持された圧電振動子の一端と他端縁との中間部に相当するパッケージ内底面20に枕部材25、30を突設した。
請求項(抜粋):
圧電素板の表裏両面に励振電極を備えた圧電振動子の一端下面を、気密封止されたパッケージ内底面に突設した保持電極の上面により片持ち状態で水平に支持した圧電振動子の支持構造において、上記保持電極によって支持された圧電振動子の一端と他端縁との中間部に相当するパッケージ内底面に枕部材を突設したことを特徴とする圧電振動子のパッケージ内支持構造。
IPC (3件):
H03H 9/10 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/19
FI (3件):
H03H 9/10 ,  H03H 9/02 A ,  H03H 9/19 A

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