特許

J-GLOBAL ID：200903097819064236

マルチ高周波数洗浄装置

発明者： 宮本 年昭 ,  佐野 修一
出願人/特許権者： 本多電子株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-055021
公開番号（公開出願番号）：特開平8-224555
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、複数個の超音波振動子から周波数の異なる超音波を発生して洗浄物に付着する粒径の異なるパーティクルを除去するようにしたマルチ高周波数洗浄装置を提供するものである。【構成】 カバー1の側面に液体流入口2が設けられ、カバー1の他端に絞られた液体噴出口1bが形成され、カバー1の拡大された一端1aに支持部材7がOリング8、9で機密に支持され、さらに、支持部材7に3つの超音波振動子10、11、12が同心円状に接着され、超音波振動子10、11、12からそれぞれ1MHz、2MHz、3MHzの超音波が照射されるように構成され、超音波振動子10、11、12にそれぞれ発振器が接続されている。このように構成されたマルチ高周波数洗浄装置では、液体流入口2から洗浄液を流入し、超音波振動子10、11、12を間欠的又は連続的に作動して液体噴出口1bから洗浄液と異なった周波数の超音波を噴出して洗浄物を洗浄すると、異なった粒径のパーティクルが洗浄物から洗浄される。

請求項（抜粋）：

拡大されたカバーの一端に装着した支持部材に超音波振動子を設け、前記カバーの他端に細く絞った液体噴出口を設け、上記カバーの側面からカバー内に洗浄液を流入する液体流入口を設け、上記超音波振動子で発生する超音波とともに洗浄液を上記液体噴出口を通して噴出するようにした超音波洗浄装置において、上記カバーの一端に設けた支持部材に複数個の周波数が異なる超音波振動子を装着したことを特徴とするマルチ高周波数洗浄装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-159800
  
• 特公昭62-054557