特許

J-GLOBAL ID：200903097821207397

広帯域分光回転補償器楕円偏光計

発明者： アスピンズ、デビッド・イー ,  オプサル、ジョン
出願人/特許権者： サーマ-ウェイブ・インク
代理人 (1件)： 山崎 行造 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-507247
公開番号（公開出願番号）：特表2000-515247
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】広帯域波長を用いて試料(2)を分析する楕円偏光計と楕円偏光方法であって、試料と相互作用する多色光ビームを生成する光源(4)を含む。偏光子(6)は、光ビームが試料と相互作用する前に、光ビームを偏光させる。回転補償器(8)は、光ビームの偏光状態の位相遅延を誘発し、ここで波長範囲とこの補償器とは、少なくとも第一の有効位相遅延値が実質的に135°乃至225°の有効遅延の主範囲に誘発され、且つ少なくとも第二の有効位相遅延値が主範囲の外側に誘発されるように選択されている。アナライザ(10)は、光ビームが試料と相互作用した後に光ビームと相互作用する。検出器(12)は、アナライザと相互作用した後の光の強度を、補償器角度と波長との関数として(好ましくは全ての波長について同時に)測定する。プロセッサ(23)は、検出器により測定された光強度からアナライザの偏光状態を決定する。

請求項（抜粋）：

試料を評価する広帯域分光楕円偏光計であって、 波長範囲と、試料と相互作用する周知の偏光とを有する多色光ビームを生成 する光ジェネレータと、 前記光ビームの光路に配置されて前記光ビームの偏光状態の位相遅延を誘発 する補償器であり、前記波長範囲とこの補償器とは、少なくとも第一の有効位 相遅延値が実質的に135°乃至225°の有効遅延の主範囲に誘発され、且 つ少なくとも第二の有効位相遅延値が前記主範囲の外側に誘発されるように選 択されており、 この補償器は、前記光ビームの伝搬方向に実質的に平行な軸回りに回転可能 である補償器と、 前記光ビームが試料と相互作用した後に前記光ビームと相互作用するアナラ イザと、 このアナライザと相互作用した後の前記光ビームの強度を、波長と、前記軸 回りの前記補償器の回転角度との関数として測定する検出器であり、前記光ビ ームの強度は、第一と第二の有効位相遅延値に対応する波長の光強度を含み、 その光強度は前記アナライザへ入射した前記光の偏光状態に対応する検出器と を備える広帯域分光楕円偏光計。