ガラス基板搬送用トレイ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福村直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-153951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353302
出願日： 2001年05月23日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、輸送時におけるガラス基板の振動による粉塵が発生しにくいガラス基板搬送用トレイ及び輸送時にガラス基板の振動が生じにくいガラス基板搬送用トレイを提供する。【解決手段】ガラス基板4を水平に収容するための複数の収納部がトレイ11の上面に形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、トレイ11の収納部はガラス基板4が収容される底面12と底面12を取り囲む側壁15とを有し、底面12における周縁に凹部13,14を有し、及び/又は側壁15の上面に凹部16を有し、及び/又は側壁15の内壁面に凹部17を有することを特徴とするガラス基板搬送用トレイ。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を水平に収容するための収納部がトレイの上面に形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、該トレイの収納部はガラス基板が収容される底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記底面における周縁に凹部を有することを特徴とするガラス基板搬送用トレイ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65D 1/24 , B65D 21/02

FI (3件)：

H01L 21/68 U , B65D 1/24 , B65D 21/02 A

Fターム (19件)：

3E006AA03 , 3E006CA01 , 3E006DA04 , 3E006DB05 , 3E033AA10 , 3E033BA14 , 3E033FA05 , 3E033GA03 , 5F031CA05 , 5F031DA05 , 5F031DA12 , 5F031EA01 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA10 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031PA13 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (8件)

裁断済み基板用搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-302278 出願人：松下電器産業株式会社
収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-141237 出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
基板搬送用ボックス
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-083595 出願人：淀川化成株式会社

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