焦点位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066561
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】反射率分布が均一でない被検面の位置検出を正確に行うこと。【構成】対物レンズ(6) の光軸(Ax2) を含む面により分割された一方の領域を介して所定のパターンを基板表面(7a)に投射して、この表面からの反射光を他方の領域を介して検出器(8) にて受光する焦点位置検出装置において、対物レンズから検出器へ向かう光路中に、補助光学系(10)を設けて、検出器上での結像倍率を変える。

請求項（抜粋）：

対物レンズの光軸を含む面を境に2分される領域のうち、一方の領域を介して所定のパターンを基板の表面に投射し、前記表面から反射される前記パターンの像を他方の領域を介して検出器にて光電的に検出して、前記基板の位置を検出する焦点位置検出装置において、前記対物レンズから前記検出器へ向かう光路中に、前記検出器上に結像される前記パターンの像の倍率を変化させる補助光学系を設けることを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (3件)：

G01C 3/06 , G01B 9/04 , G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-211109
特開昭60-118814

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