特許

J-GLOBAL ID：200903097828281258

洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 吉岡 哲也 ,  玉置 洋之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335990
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164551
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 対象物の洗浄を効率よく行うことができる洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。【解決手段】 洗浄する対象物Wを回転可能に保持している対象物保持部20と、前記対象物Wの表面を洗浄するため、前記対象物Wの表面に対して水を噴射させる水供給部30と、前記対象物Wの表面をリンスするため、リンスを前記対象物Wの表面に対して吐出させるリンスノズルを有するリンス供給部40とを有する洗浄装置10において、前記リンス供給部40は、前記対象物Wが水で洗浄される前、水で洗浄された後及び水で洗浄しているとき、前記リンスを前記対象物Wに対して吐出する機能を有する。

請求項（抜粋）：

洗浄する対象物を回転可能に保持している対象物保持部と、前記対象物の表面を洗浄するため、前記対象物の表面に対して水を噴射させる水供給部と、前記対象物の表面に対して所定の処理をするため、リンスを前記対象物の表面に対して吐出させるリンスノズルを有するリンス供給部とを有する洗浄装置において、前記リンス供給部は、水で洗浄される前、水で洗浄された後及び水で洗浄しているときに、前記リンスを前記対象物に対して吐出する機能を有することを特徴とする洗浄装置。