特許
J-GLOBAL ID：200903097829870133
研磨砥石
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-303126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138540
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 研磨装置に用いる研磨砥石の構造の改良に関し、簡単且つ容易に砥石の実際の摩耗量が許容摩耗量に達したこと被研磨物の研磨面の異常により検知することが可能となる研磨砥石の提供を目的とする。【構成】 研磨装置の載物テーブルの表面に被研磨物を載置し、この研磨装置の砥石ホルダに、砥石3bを基板3aに固着した研磨砥石3を固定し、この砥石ホルダを回転させながらこの研磨砥石3の砥石3bとこの被研磨物とを接触させて、この被研磨物の表面をこの研磨砥石3により研磨する研磨装置に用いる研磨砥石であって、この砥石3bの基板3aとの接触面からこの砥石3b内に埋め込まれた突起物3cを、この砥石3b内に具備するように構成する。
請求項（抜粋）：
研磨装置の載物テーブル(1)の表面に被研磨物(4)を載置し、前記研磨装置の砥石ホルダ(2) に、砥石(3b)を基板(3a)に固着した研磨砥石(3)を固定し、該砥石ホルダ(2) を回転させながら前記研磨砥石(3) の砥石(3b)と前記被研磨物(4) とを接触させて、前記被研磨物(4) の表面を前記研磨砥石(3) により研磨する前記研磨装置に用いる研磨砥石であって、前記砥石(3b)の基板(3a)との接触面から前記砥石(3b)内に埋め込まれた突起物(3c)を、前記砥石(3b)内に具備することを特徴とする研磨砥石。
IPC (2件)：
B24D 7/00
, H01L 21/304 321
