特許
J-GLOBAL ID：200903097832718814
ポンプ薄膜における漏れの検出のための装置及び方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山崎 行造 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-582714
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530573
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：
【要約】流体の流れ制御システムにおける薄膜を通して流体漏れの検出のための方法。流体の流れ制御システムは、第1のチャンバーと第2のチャンバーを有する。薄膜は、その第1及び第2のチャンバーの間に配置される。第2のチャンバーは、圧力タンクへの接続を有し、その圧力タンクは、圧力による流動性を有し、接続は、流体通路を画定する。その方法は、流体通路を遮断する第1のステップを含む。圧力タンク内の流体圧力は調整される。圧力の変化率は、圧力タンク内で測定される。遮断圧力割合が計算される。次に、流体通路は、障害物を取り除かれる。圧力変化率は、圧力タンク内で測定される。障害除去圧力割合が計算される。最終的に、漏れ率は、遮断圧力割合と障害除去圧力割合に基づいて計算される。
請求項（抜粋）：
第1のチャンバー及び第2のチャンバーを有する流体の流れ制御システム内の薄膜を通して流体の漏れ割合を検出する方法であって、該薄膜は該第1及び第2のチャンバー間に配置され、該第2のチャンバーは圧力タンクへの接続を有し、該圧力タンクは圧力を持つ流体を有し、該接続は流路を画定し、その方法は、 前記流路を遮断するステップと、 前記圧力タンク内の前記流体の圧力を調整するステップと、 前記流路が遮断され、圧力が調整された後に多数のタイムインターバルの第1のセットのそれぞれにおいて圧力測定値を与える前記圧力タンク内の圧力を測定するステップと、 多数のタイムインターバルの前記第1のセットにおける前記圧力タンク内の前記圧力測定値に基づいて遮断圧力割合を計算するステップと、 前記流路から障害物を取り除くステップと、 前記流路から障害物が取り除かれた後多数のタイムインターバルの第2のセットのそれぞれにおける圧力測定値を与える前記圧力タンク内の圧力を測定するステップと、 多数のタイムインターバルの第2のセットにおける前記圧力タンク内の前記圧力測定値に基づいて障害物除去圧力割合を計算するステップと、 前記遮断圧力割合と前記障害物除去圧力割合に基づいて漏れ割合を計算するステップと、 を有することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
F04B 43/02
, F04B 49/10 311
F04B 43/02 E
, F04B 49/10 311
3H045AA02
, 3H045AA08
, 3H045AA12
, 3H045AA22
, 3H045BA41
, 3H045CA01
, 3H045CA29
, 3H045DA02
, 3H045EA38
, 3H077AA08
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD09
, 3H077DD15
, 3H077EE12
, 3H077FF58
