特許
J-GLOBAL ID:200903097836318560

熱映像検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 五十嵐 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-131308
公開番号(公開出願番号):特開平7-318430
出願日: 1994年05月20日
公開日(公表日): 1995年12月08日
要約:
【要約】【目的】 熱映像検出装置の赤外線検出部4に有するスイッチング用素子の歩留まりを向上させ、このことにより熱映像検出装置の製造コストを安くし、低価格な装置を提供することにある。【構成】 赤外線検出部4は、マイクロマシニング技術でシリコン基板上に作製されたボロメータ素子1とダイオード2を有して構成され、1個のダイオード2のアノード側と、1個のボロメータ素子1の出力端とを直列に接続した直列接続体10が二次元配置しているものである。ボロメータ素子1は、被検出体から赤外線の入射により温度変化が生じることで電気抵抗が変化する抵抗素子であり、ダイオード2のスイッチング動作により前記ボロメータ素子1の赤外線受光量に対応する電気抵抗の変化を順次読み出し、これを信号処理して被検出体の熱映像を得る。
請求項(抜粋):
温度変化に応じて電気抵抗が変化するボロメータ素子を一次元又は二次元状に配置してなる赤外線検出部と、個々のボロメータ素子に一対一に対応させて接続されているダイオードと、各ダイオードを選択的に1個ずつ順方向にバイアスするダイオード駆動回路と、各ボロメータ素子から得られる温度変化に対応するアナログ信号をデジタル化するデジタル処理回路と、各ダイオードの特性のばらつきに起因するオフセット値を格納するオフセット格納メモリと、前記デジタル処理回路によって処理された各ボロメータ素子の赤外線検出値を対応するダイオードのオフセット値を用いてデジタル演算によって補正する補正演算処理部とを有する熱映像検出装置。
IPC (4件):
G01J 5/02 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/20 ,  G01J 5/48

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