特許

J-GLOBAL ID：200903097847217889

静電容量型圧力センサ

発明者： 中尾 悟志 ,  舘 敏夫 ,  石川 秀人
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079472
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260610
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成で、センサ感度のばらつきが小さく、測定精度が高く、製品の歩留も良くする。【構成】 流体の圧力が印加される絶縁体のダイヤフラム11と、ダイヤフラム11の裏面に平面的に形成された第一電極13と、ダイヤフラム11と一定間隔を隔てて対面して設けられた絶縁体のベース基板12と、ベース基板12の表面に形成され、第一電極13と対面して同様に設けられた第二電極14とから成る。ダイアフラム11とベース基板12間の第一,第二電極13,14が対面する内部空間に連通した通気孔16を、ベース基板12に形成した。

請求項（抜粋）：

流体の圧力が印加される絶縁体のダイヤフラムと、このダイヤフラムの裏面に平面的に形成された第一電極と、上記ダイヤフラムと一定間隔を隔てて対面して設けられた絶縁体のベース基板と、このベース基板の表面に形成され、上記第一電極と対面して同様に設けられた第二電極と、上記第一電極と第二電極との間の空間部に連通した通気孔を上記ベース基板に形成した静電容量型圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-239938
  
• 特開平3-239938
  
• 特開平3-239938
  
• 特開平3-239938