特許

J-GLOBAL ID：200903097851006914

半導体集積回路装置の製造方法およびマスクパターンの生成方法

発明者： 鈴木 和久 ,  小出 一夫 ,  高橋 敏郎
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-325426
公開番号（公開出願番号）：特開2004-104136
出願日： 2003年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】 面積および配線の増加なしに、大きな電源安定化容量を得る。【解決手段】 第5配線層M5の第1電位Vssが割り当てられた配線と第4配線層M4の第2電位Vddが割り当てられた配線とが交差する部分、および、第5配線層M5の第2電位Vddが割り当てられた配線と第4配線層M4の第1電位Vssが割り当てられた配線とが交差する部分に、電源安定化用のキャパシタCを形成するものである。また、キャパシタCは、半導体基板1(チップ)の少なくとも内部領域1aにおいてほぼ均一に分散して形成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の配線層を有し、前記配線層のうち最上層を除く任意の第1配線層と、前記第1配線層の上層の任意の第2配線層とを含む半導体集積回路装置の製造方法であって、 (a)前記第1配線層を覆う層間絶縁膜を形成し、前記第1配線層を構成する配線上の前記層間絶縁膜に孔を形成する工程、 (b)前記孔のうち、一部の孔を覆うマスク膜を形成する工程、 (c)前記マスク膜の存在下でエッチング処理を施し、前記孔の底部または前記孔の内面を含む前記層間絶縁膜上に形成された絶縁膜を除去する工程、 (d)前記マスク膜を除去し、前記孔の内部に導電部材を形成する工程、 を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。

IPC (7件)：

H01L21/822 ,  H01L21/027 ,  H01L21/768 ,  H01L21/82 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/04 ,  H01L27/06

FI (7件)：

H01L27/04 H ,  H01L21/90 A ,  H01L27/06 102A ,  H01L21/82 L ,  H01L27/04 D ,  H01L21/30 502P ,  H01L27/04 C

Fターム (105件)：

5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK11 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033LL04 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM08 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033PP33 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ75 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR09 ,  5F033RR11 ,  5F033SS04 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033TT08 ,  5F033VV10 ,  5F033VV16 ,  5F033VV17 ,  5F033XX01 ,  5F033XX02 ,  5F033XX03 ,  5F033XX09 ,  5F033XX10 ,  5F033XX15 ,  5F033XX24 ,  5F033XX27 ,  5F033XX28 ,  5F038BH03 ,  5F038BH19 ,  5F038CD02 ,  5F038CD14 ,  5F038EZ20 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC03 ,  5F048AC10 ,  5F048BA01 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF11 ,  5F048BF12 ,  5F048BF16 ,  5F048BG01 ,  5F048BG13 ,  5F048DA18 ,  5F048DA21 ,  5F048DA25 ,  5F064EE13 ,  5F064EE22 ,  5F064EE43 ,  5F064EE52