特許
J-GLOBAL ID：200903097859044270
レーザーマーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022766
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227685
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 トレイのポケットに収容されたデバイスの表面の汚れを自動的に拭き取り可能にする。【構成】 拭き取りユニット9に、自動走行する洗浄用の帯状布7をポケット2a内の被加工物1の表面に接触させるローラ10を設ける。
請求項（抜粋）：
トレイのポケット内に収納された被加工物に任意のパターンのマーキングをレーザー照射により行うレーザー本体と、上記レーザー照射後に上記被加工物の表面に付着している汚れを除去する拭き取りユニットとを備えたレーザーマーキング装置において、上記拭き取りユニットに、自動走行する洗浄用の帯状洗浄部材を上記ポケット内の被加工物の表面に接触させるローラを設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置。
IPC (4件)：
B23K 26/00
, B08B 1/02
, B23K 26/16
, H01L 23/00
