特許
J-GLOBAL ID：200903097861971847
クリーンルーム設備
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167434
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357641
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】中間室や密閉容器の内部が汚染されることを防止できるクリーンルーム設備を提供する。【解決手段】本発明のクリーンルーム設備10によれば、中間室22のクリーンルーム20側にロードポート28の駆動室40が配設される。駆動室40内には、エアカーテン発生器56及び排気装置58が設けられ、エアカーテン発生器56によって連通口44にエアカーテンが常時形成されるとともに、駆動室40内のエアが床下空間34に排気されて駆動室40と中間室22の内圧が略等しくなるように制御される。また、ロードポート28のカバー60内には、エアシャワー装置54が設けられ、このエアシャワー装置54によって上昇移動する扉36aにエアが噴射される。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設けられた装置室の入口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室を配設し、該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェーハを前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェーハ受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するためのロードポートを備えたクリーンルーム設備において、前記ロードポート本体内に配設された駆動部と前記中間室内に配設された開閉操作部とを連通口を介して連結し、前記駆動部で前記開閉操作部を駆動することにより前記扉を前記中間室の内側から開閉する開閉機構と、前記連通部に前記ロードポート本体内と前記中間室内とを仕切るエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段と、を備えたことを特徴とするクリーンルーム設備。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, F24F 7/06
, F24F 9/00
H01L 21/02 D
, F24F 7/06 C
, F24F 9/00 E
