特許

J-GLOBAL ID：200903097872278329

走査プローブ顕微鏡

発明者： 梅基 毅 ,  井上 明
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159767
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346779
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 粗動による探針の位置決めを、短時間で正確かつ容易に行える走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針7を試料8に対して粗動させる際は、電源回路42から環状電極41a、41bへの電圧印加を停止する。これにより電気粘性流体40の粘度が瞬間的に低下し、筒状可動部6が管状支持部3に対して電気粘性流体40により粘性的に連結される。したがって、筒状可動部6がボイスコイルモータにより駆動可能となり、探針7を試料8に対して粗動させることができる。探針7が所定位置まで粗動されると、ボイスコイルモータを停止させ、電源回路42から環状電極41a、41bへ電圧を印加する。これにより電気粘性流体40の粘度が瞬間的に上昇し、筒状可動部6が管状支持部3に対して固定される。

請求項（抜粋）：

試料表面に近接させた探針を、試料表面との距離を制御しながら走査する走査プローブ顕微鏡において、リニアアクチュエータと、前記リニアアクチュエータにより直線的に粗動される可動部材と、前記可動部材の一端に設けられ、前記リニアアクチュエータの粗動に応じて試料表面と離接する探針と、前記可動部材を支持する支持部材と、前記可動部材と支持部材との間隙に充填された電気粘性流体と、前記電気粘性流体に電界を印加する電極と、前記電極への印加電圧を制御する電源とを具備したことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。