特許

J-GLOBAL ID：200903097874746613

ソリッドステートコンデンサ及びマイクロホン装置

発明者： ピーター・ブイ・レパート
出願人/特許権者： モノリシック・センサーズ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050899
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】 従来のマイクロホンよりも小さくつくることができ、ぴったりと制御された感度を持つソリッドステートマイクロホンを提供する。【構成】 平行板コンデンサの固定電極を構成する、多数の孔を持つ固定後プレートと、平行板コンデンサの可動板を構成する、入射音圧波に敏感なダイヤフラムと、ダイヤフラムに大きな張力を加えることなく、ダイヤフラムを後プレートに関して位置決めする手段と、ダイヤフラムが後プレートに関して移動するときコンデンサのキャパシタンスの変化に比例した出力を提供するFET回路とを有する、ソリッドステート小型コンデンサ及びコンデンサマイクロホン。

請求項（抜粋）：

(a)平行板コンデンサの固定電極を構成する、多数の孔を持つ固定後プレートと、(b)平行板コンデンサの可動電極を構成する、入射音圧波に敏感なダイヤフラムと、(c)前記ダイヤフラムに大きな張力を加えることなく、前記ダイヤフラムを前記後プレートに対して作動関係に保持する手段とを有する、ソリッドステートコンデンサ装置。