特許

J-GLOBAL ID：200903097881441283

感放射線性組成物

発明者： 山近 幹雄 ,  小林 英一 ,  村田 誠 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015395
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230572
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【構成】 (A)下記式(1)【化1】(ここで、lは0または1を示し、nは1〜3の整数を示し、R1およびR2は同一または異なり、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、炭素数7〜10のアラルキル基または炭素数6〜10のアリール基を示し、R3、R4およびR5は同一または異なり、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、アミノ基またはハロゲン原子を示す)で表される有機基を有する重合体、および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】 本発明の感放射線性組成物は、現像性、接着性、耐熱性、耐ドライエッチング性などに優れ、特に、高感度であり、優れた矩型のパターン形状を解像し得ることが可能であるレジスト組成物として使用できる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)【化1】(ここで、lは0または1を示し、nは1〜3の整数を示し、R1およびR2は同一または異なり、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、炭素数7〜10のアラルキル基または炭素数6〜10のアリール基を示し、R3、R4およびR5は同一または異なり、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、アミノ基またはハロゲン原子を示す)で表される有機基を有する重合体、および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027