特許
J-GLOBAL ID：200903097881700289
荷電粒子線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-167892
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005151
出願日： 2003年06月12日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】接地されているときとリターディング電圧を印加して荷電粒子を照射しているときで帯電電圧が変化する試料に対しても迅速にフォーカスを合わせる。【解決手段】ウェーハを接地して帯電電圧を測定するとともに、ウェーハが試料室内に搬送された後、リターディングフォーカスシステムによりリターディング電圧を印加し、荷電粒子線を照射しているときのウェーハ帯電電圧を測定し、2つのウェーハ帯電電圧の差を求める。この差の大きさにより、その後のフォーカス合わせの方法を変える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から荷電粒子線を引き出すための引出電極と、
前記荷電粒子線を試料上で二次元走査するための偏向器と、
前記荷電粒子線を試料上に収束させるための対物レンズと、
前記荷電粒子線の照射によって試料から発生した二次荷電粒子を検出するための二次荷電粒子検出器と、
試料の高さを検出するための高さ検出器と、
試料に電圧を印加して前記荷電粒子線源からの荷電粒子線を所望の電圧まで減速させるためのリターディング手段と、
前記リターディング手段により電圧を印加して荷電粒子を照射しているときの試料の帯電電圧を測定する試料帯電電圧測定部と、
接地されているときの試料帯電電圧に関する情報と前記高さ検出器によって検出された試料の高さ情報を用いて前記リターディング手段と前記対物レンズを制御しフォーカス合わせを行うフォーカス制御部とを備え、
前記フォーカス制御部は、接地されているときの試料帯電電圧と前記試料帯電圧測定手段によって測定された試料帯電電圧の差が所定の閾値を超えているか否かによってフォーカス合わせの処理を変えることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J37/21
, H01J37/28
, H01L21/66
H01J37/21 B
, H01J37/28 B
, H01L21/66 J
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB05
, 4M106DB20
, 4M106DB30
, 4M106DH16
, 5C033MM03
, 5C033UU02
, 5C033UU03
, 5C033UU04
