特許

J-GLOBAL ID：200903097886740092

窒化アルミニウム焼結体の残留応力測定方法

発明者： 田中 俊一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241306
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079926
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 窒化アルミニウム焼結体の微小部の残留応力を、非破壊的にかつ正確に測定することを可能にする。【構成】 窒化アルミニウム焼結体に特性X線として Cu-Kα線を、X線入射角ψを変化させて照射し、 2θ=148.26degを中心に持つAlN(205)面の回折ピークの回折角度 2θの変化(X線入射角ψに対する依存性)を調べる。測定値としてのX線入射角ψおよび回折角度 2θから、 2θ- sin2 ψのグラフを作成し、例えば最小二乗法によって 2θ- sin2 ψの勾配を求める。この勾配に応力定数を乗じて、残留応力を算出する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結体の残留応力を測定するにあたり、前記窒化アルミニウム焼結体に特性X線として Cu-Kα線を照射し、得られる回折X線から 2θ=148.26degを中心に持つ (205)面の回折ピークのX線入射角に対する依存性を求め、これから残留応力を算出することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の残留応力測定方法。

IPC (3件)：

G01L 1/00 ,  G01L 1/25 ,  G01N 23/207