特許

J-GLOBAL ID：200903097896447075

窒化珪素質焼結体の製造法

発明者： 山田 哲夫 ,  高橋 卓二 ,  田中 敦彦 ,  寺井 健二
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-335547
公開番号（公開出願番号）：特開平5-148034
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、COガスと窒化珪素との反応による炭化珪素の生成を抑制し、機械的強度が優れた緻密な窒化珪素質焼結体を製造できる方法を提供する。【構成】 窒化珪素粉末と焼結助剤との混合物を成形し、該成形体を焼結するに際し、窒素又は窒素含有不活性ガスを1.0〜20kg/cm2 のガス圧で流通しながら、1650〜1950°Cで一次焼結して、気孔率0.5〜5%の焼結体とした後、一次焼結の圧力の5〜50倍のガス圧で1650〜1950°Cで二次焼結することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化珪素粉末と焼結助剤との混合物を成形し、該成形体を焼結するに際し、窒素又は窒素含有不活性ガスを1.0〜20kg/cm2のガス圧で流通しながら、1650〜1950°Cで一次焼結して、気孔率0.5〜5%の焼結体とした後、一次焼結の圧力の5〜50倍のガス圧で1650〜1950°Cで二次焼結することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造法。