特許

J-GLOBAL ID：200903097897282754

静電アクチュエータ

発明者： 津田 拓真 ,  篠原 慎二
出願人/特許権者： 東陶機器株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353373
公開番号（公開出願番号）：特開2001-178152
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】電子ビーム露光装置内で使用される静電アクチュエータにおいて、電子ビームなどの外部磁場により、対向する側の部材内部より磁場が発生し、電子ビームの軌道を変化させるため、描画精度に悪影響を及ぼしていた。【解決手段】絶縁体内に複数の帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の電極及び前記第2部材の電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第1部材および前記第2部材の互いに対向する側の絶縁体を、低磁化材料で形成することとした。

請求項（抜粋）：

絶縁体内に複数の帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の電極及び前記第2部材の電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第1部材および前記第2部材の互いに対向する側の絶縁体を、低磁化材料で形成したことを特徴とする静電アクチュエータ。