特許
J-GLOBAL ID:200903097906286458

半導体レーザーの光出力安定化装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-096574
公開番号(公開出願番号):特開平5-299755
出願日: 1992年04月16日
公開日(公表日): 1993年11月12日
要約:
【要約】【目的】 半導体レーザーから出射した光をビームスプリッタにより使用光とモニター光とに分岐させ、このモニター光の光量検出信号をフィードバック制御回路に入力して半導体レーザーの光出力を安定化させる装置において、半導体レーザーがモードホッピングを起こしたときの光出力変動を防止する。【構成】 半導体レーザー10から出射した光ビーム11の一部を反射させて、光検出器14に検出されるモニター光11Bとするビームスプリッタ20の反射面20aを、反射率の波長依存性が1nm当り1/500 以下となるように仕上げる。
請求項(抜粋):
半導体レーザーから出射した光を一部反射させてモニター光とし、残余を透過させて使用光とするビームスプリッタと、前記モニター光の光量を検出する光検出器と、この光検出器が出力する光量信号を受け、該光量信号を所定値に保つように半導体レーザー駆動電流を制御するフィードバック制御回路とからなる半導体レーザーの光出力安定化装置において、前記ビームスプリッタの反射面が、反射率の波長依存性が1nm当り1/500以下となるように仕上げられていることを特徴とする半導体レーザーの光出力安定化装置。

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