特許
J-GLOBAL ID：200903097909427893
低加速走査型反射電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330365
公開番号（公開出願番号）：特開平6-176733
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 LEEMを用いてバルク状の試料の所望の範囲の位相差像を観察する。【構成】 電子銃41からの電子ビームは、偏向コイル44、45によりX,Y方向に偏向を受ける。このビームはレンズ48、カソード対物レンズ49により試料50面上に収束される。従って、試料50の表面の所定の範囲は収束された電子ビームにより走査される。このとき、試料50の前面の所定の位置には回折像が形成されるが、レンズ48はその回折像を分割型電子線検出器47の位置に結像する。分割型電子線検出器47の出力信号は信号処理回路53に入力され、所定の演算が施され、CRT54に入力される。これによって信号処理回路53の出力信号は電子銃41から放出された電子ビームの走査と同期してCRT54に表示される。
請求項（抜粋）：
低エネルギーの電子ビームを試料面に略垂直に入射させると共に、試料面上に収束させた状態で試料面上を走査する手段と、試料から略垂直方向に反射された反射電子に基づいて試料の回折像を形成する手段と、回折像が形成される位置に配置された電子線検出器とを備えることを特徴とする低加速走査型反射電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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