特許
J-GLOBAL ID：200903097911911417
インクジェット記録装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-184743
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262253
出願日： 2004年06月23日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】インクジェット記録装置の解像度を向上させるために必要な多素子化を鉛系誘電体薄膜を用いた圧電素子を用いて実現した。薄膜形成プロセスを用いてPZT等の鉛系誘電体を高い圧電特性を維持したまま薄膜化するため、それらを微細加工することにより多素子化が容易に行うことができ、低電圧でインク吐出能力の良いインクジェット記録装置用圧電素子を形成することができる。【解決手段】rfスパッタ法により形成したPZT薄膜を用いた圧電素子3を有し、さらに薄膜状の振動板4を圧力室1の上壁に形成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
MgO基板上に電極を形成し、前記電極上に鉛系誘電体層を形成し、前記鉛系誘電体層上に更に第2の電極を形成し、前記第2の電極上に振動板を形成した後、前記MgO基板の全て、もしくは一部を除去し、前記振動板の上にインク液体を収容するための圧力室を形成するインクジェット記録装置の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AQ04
