特許
J-GLOBAL ID：200903097919883625
シリコンの精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135424
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330815
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 太陽電池等に用いるシリコンを製造する際の、特にシリコン中の不純物としてのBの有効な除去方法の提案。【構成】 底部にガス吹き込み羽口を有する容器内でシリコンを溶融状態に保持し、該羽口からAr、H2あるいはこれらの混合ガスにN2を1vol %以下混合させて吹き込む。
請求項（抜粋）：
Bを不純物元素として1ppmw以上含有するシリコンを、底部にガス吹込羽口を有する容器内で溶融状態に保持し、該羽口からAr又はH2あるいはこれらの混合ガスに1vol %以下のN2を混合したガスを吹き込み攪拌することを特徴とするシリコンの精製方法。
IPC (3件)：
C01B 33/037
, H01L 21/208
, H01L 31/04
