特許

J-GLOBAL ID：200903097926707840

温度調節器

発明者： 小林 良二
出願人/特許権者： オリオン機械株式会社
代理人 (1件)： 中澤 常男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261428
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092914
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【解決すべき課題】空気を熱媒体として用い漏水の危険がなく熱交換率の高い、高精度な温度調節器を開示する。【課題の解決手段】熱良導性素材から成る温度調節板1と、無数の連続気孔を有する金属多孔質素材から成り温度調節板1に熱授受可能に接触する気流拡散伝熱体3と、圧縮空気供給装置9とこれに接続する空気温度調節器8と温度検出器2の検出信号により空気温度調節器8を制御する制御器10とから成る加圧空気供給手段とにより構成されている温度調節器。

請求項（抜粋）：

熱良導性素材から成る温度調節板と、無数の連続気孔を有する金属多孔質素材から成り前記温度調節板に熱授受可能に接触する気流拡散伝熱体と、該気流拡散伝熱体に所望温度に調節された加圧空気を送入する空気供給手段とを備えていることを特徴とする温度調節器。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  F28D 21/00 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

H01L 21/68 N ,  F28D 21/00 B ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 H