特許
J-GLOBAL ID：200903097926767770
半導体ウエハキャリア位置決め機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019623
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223552
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハキャリアの傾きを抑えて、ウエハがずれたり飛び出したりすることを防ぐ。【解決手段】 キネマティックカップリング4が設けられた半導体ウエハキャリア1をキネマティックピン3が設けられたステージ2に載置する際、ステージ2上に傾き防止用の突起5を設けることにより、半導体ウエハキャリア1の傾きを防止する。
請求項（抜粋）：
キネマティックカップリングが設けられた半導体ウエハキャリアを、キネマティックピンが設けられたステージに載置する半導体ウエハキャリア位置決め機構において、上記ステージ上に上記半導体ウエハキャリアの傾きを防止するための突起を設けたことを特徴とする半導体ウエハキャリア位置決め機構。
Fターム (5件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA03
, 5F031KA03
, 5F031MA17
