特許
J-GLOBAL ID:200903097929808265
ワーク位置ズレ検出方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉本 巌 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-074900
公開番号(公開出願番号):特開2000-266505
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2000年09月29日
要約:
【要約】【課題】 小さな体積で済み安価なワーク位置ズレ検出方法を提供すること。【解決手段】 このワーク位置ズレ検出方法は、平面抵抗体7をワーク5の表面に配設し、平面抵抗体7の表面に沿ったX軸方向の対向縁部に互いに非接触のX軸電極対9a,9bをそれぞれ接続し、X軸方向と直交するY軸方向の対向縁部には互いに非接触のY軸電極対8a,8bをそれぞれ接続し、X軸電極対9a,9bまたはY軸電極対8a,8bに電圧をかけ、電位検出用のコンタクトプローブ3を平面抵抗体7上に接触させてコンタクトプローブ3とX軸電極対9a,9bまたはY軸電極対8a,8bとの間の電位を検出し、平面抵抗体7の中心位置Cからのワーク5の位置ズレ量dと平面抵抗体7上の電位分布との関係を表したデータであって予め記憶されている線形化補正データと、電位検出用のコンタクトプローブ3により検出した電位とを照合し、当該照合結果に基づいて中心位置Cからのワーク5の位置ズレ量dを算出するように構成してある。
請求項(抜粋):
ワーク基準位置からのワークの位置ズレを検出する方法であって、所定の電気抵抗値を有する平面抵抗体をワークの表面に配設し、平面抵抗体の表面に沿ったX軸方向の対向縁部に互いに非接触のX軸電極対をそれぞれ接続し、平面抵抗体の表面に沿ってX軸方向と直交するY軸方向の対向縁部に互いに非接触のY軸電極対をそれぞれ接続し、X軸電極対またはY軸電極対に電圧をかけ、電位検出用のコンタクトプローブを平面抵抗体上に接触させてコンタクトプローブとX軸電極対またはY軸電極対との間の電位を検出し、ワーク基準位置からのワークの位置ズレ量と平面抵抗体上の電位分布との関係を表したデータであって予め記憶されている線形化補正データと、前記電位検出用のコンタクトプローブにより検出した電位とを照合し、当該照合結果に基づいてワーク基準位置からのワークの位置ズレ量を算出するように構成したことを特徴とするワーク位置ズレ検出方法。
IPC (6件):
G01B 7/00
, G01B 21/00
, G01R 1/06
, G01R 31/02
, G01R 31/28
, H05K 3/00
FI (8件):
G01B 7/00 N
, G01B 7/00 V
, G01B 21/00 F
, G01B 21/00 D
, G01R 1/06 B
, G01R 31/02
, H05K 3/00 V
, G01R 31/28 K
Fターム (38件):
2F063AA03
, 2F063BA26
, 2F063CA34
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DA23
, 2F063EB23
, 2F063JA10
, 2F069AA03
, 2F069AA13
, 2F069AA17
, 2F069BB14
, 2F069CC06
, 2F069DD15
, 2F069DD27
, 2F069EE20
, 2F069EE23
, 2F069GG01
, 2F069GG06
, 2F069GG20
, 2F069GG58
, 2F069GG65
, 2F069GG72
, 2F069HH30
, 2F069LL03
, 2F069NN00
, 2F069PP02
, 2G011AA02
, 2G011AC06
, 2G011AE01
, 2G014AA13
, 2G014AA17
, 2G014AB59
, 2G014AC12
, 2G014AC18
, 2G032AE04
, 2G032AJ04
, 2G032AK03
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