特許
J-GLOBAL ID：200903097933445495
流量計および流量測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-330031
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159839
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 低流量域から大流量域まで高精度かつ円滑な測定を行うことができる流量計および流量測定方法を提供する。【構成】 制御部200は、流量が微小なときはバイパスバルブ106を閉めて小型フルイディック素子104からの発振信号108を基に流量を演算する一方、流量が増大して所定の流量を超えたときには、バイパスバルブ106を開けると共に、大型フルイディック素子103からの発振信号107を基に流量を演算する。これにより、微小流量域から大流量域まで高精度に測定することができ、また、流体の流れが途絶えることがないため2つのフルイディック素子の切り替えも円滑に行うことができる。しかも、大型フルイディック素子103を選択しているときはバイパスバルブ106を開けるようにしているため、小型フルイディック素子104による圧力損失の発生を防止することができる。
請求項（抜粋）：
流体の流路中に配置されると共に、流量に応じた信号を出力する低流量測定用の第1の流量検知素子と、流体の流路中に前記第1の流量検知素子と直列に配置されると共に、流量に応じた信号を出力する大流量測定用の第2の流量検知素子と、前記第1の流量検知素子と並列に前記流路に接続されたバイパスバルブと、前記第1の流量検知素子および第2の流量検知素子から出力される信号のいずれかを選択する選択手段と、この選択手段により選択された信号に基づき流量を演算する演算手段と、この演算手段によって求められた流量を所定の流量値と比較し、その比較結果に応じて前記バイパスバルブの開閉および前記選択手段を制御する切替制御手段とを備えたことを特徴とする流量計。
IPC (2件)：
引用特許：
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