特許

J-GLOBAL ID：200903097935933209

円筒体欠陥検査装置

発明者： 鎌田 照己
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229659
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050905
出願日： 1999年08月16日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 本発明は検査装置の構造の簡略化と装置を小型化でき、検出精度を安定化するとと共に円筒形状を製作する際の切削等による円筒被検査物の周方向の傷や凹凸の検出ができる円筒体欠陥検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 円筒状の被検査物(15)の表面に光を照射し、前記被検査物(15)の表面からの反射光を光電変換素子(13)によって光電変換して得られた画像信号に基づいて被検査物(15)の表面欠陥を検出する、本発明に係る円筒体欠陥検査装置は、内周面に被検査物(15)の表面を照射する照明手段(14)と、被検査物(15)の表面からの反射光を等倍結像させる等倍結像素子(12)と、該等倍結像素子(12)の結像位置に配置される光電変換素子(13)とを具備する中空円筒型センサユニット(11)と、該中空円筒型センサユニット(11)内に挿入される被検査物(15)と中空円筒型センサユニット(11)を相対的に移動させる移動手段とを有する。

請求項（抜粋）：

円筒状の被検査物の表面に光を照射し、前記被検査物の表面からの反射光を光電変換素子によって光電変換して得られた画像信号に基づいて前記被検査物の表面欠陥を検出する円筒体欠陥検査装置において、内周面に前記被検査物の表面を照射する照明手段と、前記被検査物の表面からの反射光を等倍結像させる等倍結像素子と、該等倍結像素子の結像位置に配置される光電変換素子とを具備する中空円筒型センサユニットと、該中空円筒型センサユニットの中空内に挿入される前記被検査物と前記中空円筒型センサユニットを相対的に移動させる移動手段とを有することを特徴とする円筒体欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/952 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84

FI (3件)：

G01N 21/952 ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/84 C

Fターム (32件)：

2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB08 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065DD09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG17 ,  2F065HH03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL08 ,  2F065MM03 ,  2F065PP01 ,  2F065PP12 ,  2F065PP25 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA01 ,  2G051CA08 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07