特許
J-GLOBAL ID:200903097938626722

金属酸化物微粒子分散体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-167672
公開番号(公開出願番号):特開2005-002418
出願日: 2003年06月12日
公開日(公表日): 2005年01月06日
要約:
【課題】安価に、常圧またはそれ以上で、低温での加熱処理により、体積抵抗値が低い金属薄膜、特に銅薄膜の形成が可能な金属酸化物分散体を提供すること。【解決手段】一次粒子径100nm以下の金属酸化物微粒子と、前記金属酸化物微粒子に対して還元能を有し、還元作用が生じる温度またはそれ以上の温度で、95重量%以上が消失する還元性有機ポリマーを含有する金属酸化物微粒子分散体である。この金属酸化物微粒子分散体を成膜後、加熱処理することによって、金属酸化物微粒子を還元させ、還元と同時または還元後に、還元性有機ポリマーを加熱処理前の重量の95重量%以上を消失させて金属薄膜が製造できる。【選択図】 選択図なし。
請求項(抜粋):
一次粒子径100nm以下の金属酸化物微粒子と、前記金属酸化物微粒子に対して還元能を有し、還元作用が生じる温度またはそれ以上の温度において、95重量%以上が消失する還元性有機ポリマーを含有する金属酸化物微粒子分散体。
IPC (2件):
C23C18/02 ,  C23C18/40
FI (2件):
C23C18/02 ,  C23C18/40
Fターム (9件):
4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA05 ,  4K022AA13 ,  4K022BA08 ,  4K022BA31 ,  4K022CA24 ,  4K022DA03 ,  4K022DB24
引用特許:
審査官引用 (7件)
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