膜厚測定方法および膜厚測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241563
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054916
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】積層体を長手方向に複数接続した帯状試料が、長手方向に走行する際に、該帯状試料の1層の厚さを、接続部の前後で連続的且つ正確に求め得る、簡便な膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。【解決手段】少なくともa層とb層を有する帯状試料において、予め測定したb層の、a層の成分元素と同一の元素に由来する蛍光X線の強度と帯状試料の蛍光X線の強度との差からa層の厚さを求めるに際し、b層の前記元素の存在量に不連続な変化が生ずる場合に、その変化前後での帯状試料の蛍光X線強度の差、および変化前のb層の蛍光X線強度を用いて、変化後のb層の前記元素に由来する蛍光X線強度を求め、これにより変化後のa層の厚さを求める膜厚測定方法および膜厚測定装置である。

請求項（抜粋）：

少なくともa層とb層を有する積層体からなる帯状試料を長手方向に走行させながら、該帯状試料にX線を照射し、発生する蛍光X線の強度を測定することによりa層の厚さを連続的に求める膜厚測定方法において、予め求めておいたb層の、a層の成分元素と同一の元素に由来する蛍光X線の強度と前記帯状試料の前記元素に由来する蛍光X線の強度との差からa層の厚さを求めるに際し、b層の前記元素の存在量に不連続な変化が生ずる場合に、その変化前後における帯状試料の前記元素に由来する蛍光X線強度の差、および変化前のb層の前記元素に由来する蛍光X線強度を用いて、前記変化後のb層の前記元素に由来する蛍光X線強度を求め、これにより変化後のa層の厚さを求めることを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (4件)：

G01B 15/02 , C23C 14/52 , C23C 14/56 , G01N 23/223

FI (4件)：

G01B 15/02 D , C23C 14/52 , C23C 14/56 A , G01N 23/223

Fターム (32件)：

2F067AA27 , 2F067BB18 , 2F067CC08 , 2F067HH04 , 2F067JJ03 , 2F067KK01 , 2F067RR24 , 2F067RR29 , 2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001BA11 , 2G001GA01 , 2G001HA01 , 2G001JA09 , 2G001JA11 , 2G001KA01 , 2G001KA11 , 2G001LA02 , 2G001LA05 , 2G001MA05 , 2G001NA06 , 2G001NA07 , 2G001NA17 , 2G001PA11 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA44 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029EA01 , 4K029KA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-354872
特開平2-242110

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