有機EL素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：中村静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325557
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158638
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アルミニウム等の難蒸着成分とアルカリ金属やアルカリ土類金属等の低仕事関数金属とを含有する陰極を備えた有機EL素子を抵抗加熱方式または誘導加熱蒸着法によって連続作製することは困難であり、陰極を電子ビーム蒸着法またはスパッタリング法によって連続作製することは可能になるが有機EL素子の発光特性が低下する。【解決手段】基板と、導電膜からなる陽極と、有機発光材料を含有する発光層を備えた単層または多層構造の有機物層と、難蒸着成分を含有する金属膜からなる陰極とを有し、基板上に陽極が形成され、陽極上に有機物層が形成され、有機物層上に陰極が形成された有機EL素子を製造する際に、陰極成分のうちの少なくとも難蒸着成分について蒸着材料に加速電子を照射したとき蒸着材料から特性X線が実質的に放射されないよう加速電圧を制御した電子ビームによって蒸着させて陰極を形成する。

請求項（抜粋）：

基板と、導電膜からなる陽極と、有機発光材料を含有している発光層を備えた単層構造または多層構造の有機物層と、難蒸着成分を含有している金属膜からなる陰極とを有し、前記基板上に前記陽極が形成され、この陽極上に前記有機物層が形成され、この有機物層上に前記陰極が形成されている有機EL素子を製造するにあたり、前記陰極の成分のうちの少なくとも難蒸着成分については、この難蒸着成分用の蒸着材料に加速した電子を照射したときに該蒸着材料から特性X線が実質的に放射されないように電子の加速電圧を制御した電子ビーム蒸着法によって蒸着させて、前記陰極を形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。

IPC (2件)：

C09K 11/02 , C09K 11/06

FI (2件)：

C09K 11/02 A , C09K 11/06 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-033183
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198011 出願人：関西日本電気株式会社
特開平3-114197

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