特許
J-GLOBAL ID:200903097953371560

複数の取付チャックの支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-330749
公開番号(公開出願番号):特開2002-178250
出願日: 2001年10月29日
公開日(公表日): 2002年06月25日
要約:
【要約】【課題】 取付チャックの複数配置(構成)を維持しつつ、種々の加工半径への適合化を促進し、かつ複数の取付チャックをストックするためのコストを低減することができる取付チャックの支持装置。【解決手段】 複数の取付チャックに真空形成/空気供給部が配され、かつスピンドルシャフトが真空形成/空気供給用の中央孔を有する、光学部材の精密研削及び/又は研磨用取付チャックの支持装置は、取付チャックのための収容部(16)を有し、スピンドルシャフト(1)の軸線(20)に対する傾斜角度を調節できる複数のアーム(14)が、該スピンドルシャフト(1)の頭部に取り付けられ、該収容部(16)と該スピンドルシャフト(1)との間に、フレキシブルな真空形成/空気供給部材(18)が設けられる。
請求項(抜粋):
複数の取付チャックに真空形成/空気供給部が配され、かつスピンドルシャフトが真空形成/空気供給用の中央孔を有する、光学部材の精密研削及び/又は研磨用取付チャックの支持装置において、取付チャックのための収容部(16)を有し、スピンドルシャフト(1)の軸線(20)に対する傾斜角度を調節できる複数のアーム(14)が、該スピンドルシャフト(1)の頭部に取り付けられ、該収容部(16)と該スピンドルシャフト(1)との間に、フレキシブルな真空形成/空気供給部材(18)が設けられることを特徴とする支持装置。
Fターム (5件):
3C049AA01 ,  3C049AB05 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03

前のページに戻る