特許
J-GLOBAL ID：200903097954590614
露光装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096935
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295457
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 フォトマスク上にレジストフィルムを保持させ、このフォトマスク側からレジストフィルムへ平行光を照射させる露光装置において、レジストフィルムに非通気性の被覆材を重合させたうえで、フォトマスクとレジストフィルムとの間を真空引きして密着させるようにする場合に、この部分に空気溜まりが発生し、これが露光被りと呼ばれる欠点に繋がることがあった。【解決手段】 レジストフィルム101に重合させる被覆材16として、目止め処理18が施されたスクリーン紗17を使用することによって、フォトマスク12とレジストフィルム101とを密着させるようにした。
請求項（抜粋）：
光透過性基板(12)と、この光透過性基板(12)に重合状に保持されるフォトマスク(13)と、光透過性基板(12)に対しフォトマスク(13)の保持面側とは反対側から平行光を照射する露光用光源(8)と、光透過性基板(12)に対し上記フォトマスク(13)を介してレジストフィルム(101)が重合保持されたときにフォトマスク(13)のまわりを取り囲んで光透過性基板(12)に当接する外周シール部(14)と共に上記レジストフィルム(101)に重合される非通気性の被覆材(16)と、光透過性基板(12)と被覆材(16)との重合間であって外周シール部(14)で囲まれた空間(20)を真空引きする吸引装置(21)とを有する露光装置において、上記被覆材(16)は、レジストフィルム(101)と重ねられる面とは反対側面に通気性を無くすための目止め処理(18)が施されたスクリーン紗(17)によって形成されていることを特徴とする露光装置。
Fターム (3件)：
2H097GA21
, 2H097GA27
, 2H097LA20
